激光技术

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双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

赵家敏, 高健, 梁勖, 王效顺, 游利兵, 王庆胜, 余吟山, 方晓东

2013, 37(1): 97-100. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.024

关键词: 激光技术, 充电电源, 谐振, 高重频, 高精度, 准分子激光

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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究

王效顺, 梁勖, 游利兵, 赵家敏, 方晓东

2012, 36(6): 763-766. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.013

关键词: 激光器, 能量稳定, 比例积分算法, 高重复频率, ArF准分子激光器

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MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究

李友布, 梁勖, 赵家敏, 鲍健

2013, 37(5): 660-663. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.021

关键词: 激光技术, 谐振充电, 高精度, 电压控制

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